特許
J-GLOBAL ID：201103073930490998
半導体加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304751
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124797
特許番号：特許第4066577号
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加速時に変位する重り部と、該重り部に連結された撓み部と、該撓み部を支持する支持部と、該撓み部に前記重り部の変位により前記撓み部に生じる歪みを検出するピエゾ抵抗を有して、該ピエゾ抵抗の抵抗変化をもとに加速度を検知する半導体加速度センサにおいて、
前記撓み部を複数本の平行な撓み部で構成し、その内の2本の各撓み部には2個のピエゾ抵抗を形成し、
第1のピエゾ抵抗を撓み部の長手方向に対し平行かつ撓み部の長手方向中心線上に配置し、
第2のピエゾ抵抗を撓み部の長手方向に対し直交かつ第1のピエゾ抵抗の延長線上に配置すると共に、第1の撓み部の第2のピエゾ抵抗を支持部側の端部に配置し、第2の撓み部の第2のピエゾ抵抗を重り部側の端部に配置したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/12 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
G01P 15/12
, H01L 29/84 A
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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