特許
J-GLOBAL ID：201103074099804839

電子ビーム露光装置、照射位置検出方法、及び電子検出装置

発明者：
原口 岳士

原口 岳士 について

, 
安田 洋

安田 洋 について

, 
濱口 新一

濱口 新一 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371622
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175967
特許番号：特許第4246374号
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の電子ビームにより、ウェハにパターンを露光する電子ビーム露光装置であって、 前記複数の電子ビームを発生する電子ビーム発生部と、 前記電子ビームが照射され、前記電子ビームの照射位置を検出させるマーク部と、 前記複数の電子ビームの間に設けられており、前記マーク部から放射された電子を検出して、検出された電子量に基づく検出信号を出力する第1電子検出部と、 前記検出信号に基づいて、前記電子ビームの照射位置を検出する位置検出部と、 前記複数の電子ビームを前記マーク部に照射させるか否かを独立して切り替える照射切替手段と を備え、 前記照射切替手段は、第1のタイミングにおいて、前記複数の電子ビームのうちの第1電子ビームを照射させ、第2のタイミングにおいて、前記第1電子ビームと隣接する第2電子ビームを照射させ、 前記位置検出部は、前記第1のタイミングにおいて、前記第1電子検出部から出力された検出信号に基づいて、前記第1電子ビームの照射位置を検出し、前記第2のタイミングにおいて、前記第1電子検出部から出力された検出信号に基づいて、前記第2電子ビームの照射位置を検出する電子ビーム露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G03F 9/00 ( 200 6.01) ,  H01J 37/244 ( 200 6.01) ,  H01J 37/305 ( 200 6.01)
FI (7件)：
H01L 21/30 541 D ,  H01L 21/30 541 W ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/305 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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