特許

J-GLOBAL ID：201103074163091086

砥液供給装置

発明者： 川島 清隆 ,  谷川 睦 ,  下元 博 ,  丁野 恵子
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337319
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150347
特許番号：特許第3778747号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 研磨部に砥液を供給する砥液供給装置であって、 所定の濃度の砥液を貯留する供給タンクと、 該供給タンクから砥液を前記研磨部の砥液ノズルに送る砥液配管と、 所定の濃度の添加剤を貯留する添加剤タンクと、 前記添加剤タンクから延び前記砥液ノズル及び前記供給タンクに接続され、前記砥液ノズルから供給される砥液に添加剤を添加するとともに、前記供給タンクに添加剤を供給する添加剤配管と、 添加剤の粉体原料と溶媒とを前記添加剤タンクに供給して混合する添加剤調製手段とを有することを特徴とする砥液供給装置。

IPC (2件)：

B24B 57/02 ( 200 6.01) ,  B24B 37/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B24B 57/02 ,  B24B 37/00 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ラップ加工装置の使用済み組成物の再生循環方法および再生循環装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-176902   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
• 研磨剤、研磨方法および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-351341   出願人：富士通株式会社, 三井金属鉱業株式会社
• 研磨装置及び研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-340063   出願人：株式会社日立製作所