特許

J-GLOBAL ID：201103074226908665

センサ素子

発明者： 保田 直紀 ,  深見 達也 ,  田口 元久 ,  川野 裕司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-547564
特許番号：特許第3906689号
出願日： 1999年12月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】センサ基板と、このセンサ基板に支持され、細線で構成された平面状のセンシング部位を備え、この平面状センシング部位の表面が、一般式(1); (式中、R1、R2、R3はアリール基、水素原子、脂肪族アルキル基、水酸基、トリアルキルシリル基または不飽和結合を有する官能基であり、同種でもよく、異種でもよい。l、m、nはl+m+n≧1となるいずれも0以上の整数で重量平均分子量が1000以上である。)であるシリコーン系ポリマーの硬化膜で被覆されていることを特徴とするセンサ素子。

IPC (6件)：

G01R 33/09 ( 200 6.01) ,  G01P 15/08 ( 200 6.01) ,  G01D 21/00 ( 200 6.01) ,  G01F 1/692 ( 200 6.01) ,  G01L 9/00 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G01R 33/06 R ,  G01P 15/08 Z ,  G01D 21/00 M ,  G01F 1/68 104 B ,  G01L 9/00 Z ,  G01F 1/68 104 C ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-053743
  
• 磁電変換素子およびそれを用いた磁気センサ、磁電変換素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-133543   出願人：株式会社村田製作所
• 感光性シリコーンラダー系樹脂組成物、この樹脂組成物にパターンを転写するパターン転写方法および上記樹脂組成物を用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-133602   出願人：三菱電機株式会社