感光性シリコーンラダー系樹脂組成物、この樹脂組成物にパターンを転写するパターン転写方法および上記樹脂組成物を用いた半導体装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133602
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319597
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】直接光で微細加工可能な感光性シリコーンラダー系樹脂組成物を得る。【解決手段】感光性シリコーンラダー系樹脂組成物は、下記一般式(1)【化1】(式中、R1およびR2はアリール基、水素原子、脂肪族アルキル基または不飽和結合を有する官能基であり、同種でも異種でもよい。R3、R4、R5およびR6は水素原子、アリール基、脂肪族アルキル基、トリアルキルシリル基または不飽和結合を有する官能基であり、同種でも異種でもよい。ただし、R1、R2、R3、R4、R5およびR6のうち1重量%以上は感光性を有する官能基で、nは自然数である。)で表されるシリコーンラダー系樹脂と、感光性架橋剤または光重合開始剤を含有するものである。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)【化1】(式中、R1およびR2はアリール基、水素原子、脂肪族アルキル基または不飽和結合を有する官能基であり、同種でも異種でもよい。R3、R4、R5およびR6は水素原子、アリール基、脂肪族アルキル基、トリアルキルシリル基または不飽和結合を有する官能基であり、同種でも異種でもよい。ただし、R1、R2、R3、R4、R5およびR6のうち1重量%以上は感光性を有する官能基で、nは自然数である。)で表されるシリコーンラダー系樹脂並びに感光性架橋剤もしくは光重合開始剤を含有した感光性シリコーンラダー系樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 , C08F 2/48 , C08F290/14 , C08L 83/04 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , H01L 21/312

FI (7件)：

G03F 7/075 511 , C08F 2/48 , C08F290/14 , C08L 83/04 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/028 , H01L 21/312 C

引用特許：

審査官引用 (31件)

光硬化性材料及び硬化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-155691 出願人：昭和電工株式会社
特開昭64-082032
特開昭60-238827

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