特許
J-GLOBAL ID：201103074360517133
テープキャリア用露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-231142
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045918
特許番号：特許第4696420号
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも紫外線光源と、紫外線照射位置を変更する反転ミラーと、フォトマスクと、テープキャリアと、定盤と、アライメント機構と、前記テープキャリアの巻き出し部と巻き取り部とからなるテープキャリア搬送手段と、前記定盤の後段に配置した面反転機構を有する露光装置において、前記テープキャリア表面の露光部への紫外線照射中に前記テープキャリア裏面における露光部のアライメントマークとフォトマスクのアライメントマークの整合を並行して行い、前記テープキャリア表面の露光部の露光作業の終了と同時に、紫外線光反転手段により紫外線の光路を変更して、照射位置をテープキャリア裏面に切り替え、連続して露光処理をすることを特徴とするテープキャリア用露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/60 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
, G03F 9/00 ( 200 6.01)
H01L 21/60 311 W
, H05K 3/00 H
, G03F 9/00 H
