特許
J-GLOBAL ID：201103074589539785
蒸着源の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-543043
特許番号：特許第4226900号
出願日： 2001年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 粉末状の各成分の混合物をコールドプレスし、引続き各成分の融点以下の温度で流動下に、理論密度の少なくとも98%に達する迄成形することで製造された、単数又は複数の付加成分と共に、アルミニウム成分を含むターゲットと、該ターゲットより高い熱伝導率を持ち、かつターゲットに結合された支持板とから成る物理蒸着用蒸着源の製造方法において、
前記蒸着源を、ターゲット成分と同様に粉末状出発材料から成る支持板をターゲット成分と共に上下に積層して圧縮し、引続き成形することにより製造することを特徴とする蒸着源の製造方法。
IPC (5件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01)
, B22F 3/17 ( 200 6.01)
, B22F 3/20 ( 200 6.01)
, B22F 7/06 ( 200 6.01)
, C22C 14/00 ( 200 6.01)
C23C 14/34 C
, C23C 14/34 A
, B22F 3/17 C
, B22F 3/20 C
, B22F 7/06 A
, C22C 14/00 Z
