開口形成装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：久原健太郎 , 内野則彰 , 木村信行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-367563
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168762
特許番号：特許第4446297号
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】錐状のチップと前記チップ上に備えられた遮光膜とを有する近視野光デバイスにおける前記チップ先端に、押し込み体を接触させることによって前記遮光膜を塑性変形させて開口を形成する光学的な開口の開口形成装置において、前記近視野光デバイスと、前記チップと略同じ高さの度当たり部を有するストッパーとを備える被開口形成体を略平坦な面上に形成し、前記押し込み体は、前記チップを覆うとともに前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面部を有し、前記押し込み体と前記度当たり部とを接触させることによって前記押し込み体の変位を制御することにより、前記チップ先端に前記開口を形成する開口形成装置であり、一定の荷重で前記押し込み体を変位させる荷重制御手段と、前記押し込み体の上面内において前記チップ先端部の真上に位置する荷重目標点と前記荷重手段で発生させる荷重点との、相対位置を制御する位置制御手段とを有することを特徴とする開口形成装置。

IPC (2件)：

G01Q 60/22 ( 201 0.01) , B82B 3/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 13/14 101 C , B82B 3/00 , G12B 1/00 601 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

光学的な開口の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-126415 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
光プローブおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-087050 出願人：三菱電機株式会社
特公平5-021201

全件表示

前のページに戻る