特許
J-GLOBAL ID：201103075367176818
全反射減衰を利用したセンサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-382817
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172694
特許番号：特許第3783131号
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 誘電体ブロックと、
この誘電体ブロックの一面に形成されて、試料に接触させられる薄膜層と、
光ビームを発生させる光源と、
前記光ビームを前記誘電体ブロックに対して、該誘電体ブロックと前記薄膜層との界面で全反射条件が得られるように種々の角度で入射させる光学系と、
複数の受光素子が所定方向に並設されてなり、前記界面において種々の反射角で全反射した光ビームの成分をそれぞれ異なる受光素子が受光する向きにして配設された、全反射減衰の状態を検出する光検出手段と、
この光検出手段の各受光素子が出力する光検出信号を、該受光素子の並設方向に関して微分して微分値を出力する微分手段と、
測定開始時に微分値がマイナスの値からプラスの値へ転ずる測定開始時ゼロ点の近傍位置に存在する微分値の経時変化を測定する測定手段とを備えてなる全反射減衰を利用したセンサーにおいて、
前記測定手段が、前記測定する微分値から、測定開始時における該微分値の初期値を減算し、該初期値が減算された微分値の経時変化を測定するものであることを特徴とする全反射減衰を利用したセンサー。
IPC (3件)：
G01N 21/27 ( 200 6.01)
, G01N 21/03 ( 200 6.01)
, G01N 21/13 ( 200 6.01)
G01N 21/27 C
, G01N 21/03 Z
, G01N 21/13
