特許
J-GLOBAL ID：201103075889291005
カーボンナノチューブの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
, 鈴木 壯兵衞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-037412
公開番号（公開出願番号）：特開2011-173743
出願日： 2010年02月23日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：
【課題】カーボンナノチューブの直径や長さの制御が容易であり、基板上に選択的にカーボンナノチューブを製造できるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、基板をチャンバー内に配置し基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程とを含むカーボンナノチューブの製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、
前記基板をチャンバー内に配置し前記基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程と
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
4G146AA11
, 4G146AB07
, 4G146AC03B
, 4G146AC16B
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC18
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146BC38B
, 4G146BC42
, 4G146BC44
