小滴堆積方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：斉藤武彦 , 畑泰之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-513589
特許番号：特許第4467858号
出願日： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバーの容積を変えることにより長いチャンバー内の液体の圧力を変えてチャンバーの一端でノズルを通して小滴を射出して堆積させ、該射出された小滴を補充するのに要するよりも多量の液体の流れをチャンバー内に生じさせて、該多量の液体が、該ノズルを過ぎって通過することを特徴とする小滴堆積方法。

IPC (3件)：