導波路型光干渉計

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：谷義一 , 中西英一 , 阿部和夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-558769
特許番号：特許第3784720号
出願日： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン基板上の石英系ガラス導波路で構成され、コアの内部応力がクラッドの内部応力よりも大きい材料からなる石英系ガラス導波路がシリコン基板上に構成されている光干渉計において、前記光干渉計が光分岐部、複数の長さの異なる光導波路、および光結合部から構成されており、前記複数の長さの異なる光導波路の長手方向に平均したコア幅を、短い光導波路で広く、長い光導波路で狭くすることにより、前記光導波路を構成する材料の内部応力に起因する応力誘起複屈折を制御すること、および前記複数の長さの異なる光導波路の複屈折を長手方向に積分した値が、複数の光導波路間で等しいことを特徴とする導波路型光干渉計。

IPC (1件)：