特許
J-GLOBAL ID：201103076083736127

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
諏訪 充史

諏訪 充史 について

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三好 一登

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富川 真佐夫

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出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122334
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221794
特許番号：特許第4665333号
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(a)一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造を主成分とするポリアミド酸エステルと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物(一般式(1)で表される構造を主成分とするポリアミド酸エステル、一般式(2)で表される構造を主成分とするポリアミド酸エステルおよびエステル化したキノンジアジド化合物を除く)と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。 (式中R1は4価の有機基、R2は2価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基、-NH-(R4)m-Xは、下記一般式(8)で示される。nは10から100000までの整数を示す。) (式中、R4は-CR18R19-、-CH2O-、-CH2SO2-より選ばれる2価の基を示し、R18、R19は水素原子、水酸基、炭素数1から10までの炭化水素基より選ばれる1価の基を示す。R13、R14は水素原子、水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基、チオール基、炭素数1から10までの炭化水素基より選ばれ、少なくとも一つは水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基、チオール基を示す。A、B、Cは炭素原子、または窒素原子であり、各々同じでも異なっていてもよい。mは0から10までの整数である。lは0または1である。pは0または1である。qは1〜3までの整数である。)
IPC (3件)：
G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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