粗面化白金層を有するキャパシタ、白金の粗面化層を形成する方法、及びキャパシタを形成する方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：石原昌典 , 石原孝志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568109
特許番号：特許第3550361号
出願日： 1999年08月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】白金の粗面化層を形成するための方法であって、該方法は、反応室内に基板を提供する過程と、前記反応室内に酸化ガスを流入させる過程と、前記反応室内に白金前駆体を流入させ、前記酸化ガスの存在のもと、前記基板上に前記白金前駆体から白金を堆積する過程と、堆積処理中、前記反応室内の温度を約0°Cから300°Cより低い温度に維持する過程と、を有することを特徴とする粗面化白金層の形成方法。

IPC (3件)：