レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-076654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-312044
特許番号：特許第4295855号
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】導波管から導波管壁に形成された複数の微小間隙を介してマイクロ波を、レーザガスが流入出する流路を形成するガス供給構造に導入することにより前記流路内でレーザガスを励起させてプラズマを生成し、前記プラズマから発せられる光を共振させてレーザ光を発生させるレーザ発振装置であって、前記流路はレーザ光の発光部で最も幅狭となる形状とされており、前記レーザガスを前記流路に対して双方向に流入出させるガス供給手段と、前記ガス供給手段により供給されるレーザガスを前記流路途中の前記発光部で亜音速に制御するガス供給制御手段を備え、前記ガス供給制御手段は、前記発光部の温度に応じて、前記流路の一方の端部であって前記レーザガスが流入する部分である流入口と前記流路の他方の端部であって前記レーザガスが流出する部分である流出口との圧力比を流出口断面積と発光部断面積の断面積比で与えられる臨界圧力比以下とするように前記流入口或いは前記流出口の圧力を調整し、前記流路には、前記レーザガスの流れる方向に向かって形成された開口からなる前記プラズマの遮蔽構造を備えたことを特徴とするレーザ発振装置。

IPC (6件)：

H01S 3/0973 ( 200 6.01) , G03F 7/20 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01) , H01S 3/225 ( 200 6.01) , H01S 3/036 ( 200 6.01) , H01S 3/041 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01S 3/097 C , G03F 7/20 505 , H01L 21/30 515 B , H01S 3/223 E , H01S 3/03 J , H01S 3/04 G

引用特許：

出願人引用 (5件)

RF放電励起による超音波及び亜音波レーザ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-513615 出願人：アレグザンダークラスノフ
特開昭64-069076
特開昭64-069073

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審査官引用 (8件)

特開昭64-069076
特開昭64-069073
特表平4-504782

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