超精密電気機械式シャッタ・アセンブリ及び同形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-159277
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352943
特許番号：特許第4602515号
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シャッタ・アセンブリを環境の影響から保護するために備えられた透明な面板の層と、該透明な面板の下に位置され、空洞を形成する垂直な側壁によりパターン形成される第1の導電層と、該第1の導電層の下に位置され、ばねにより支持されるシャッタ・セグメントを含むシャッタの形状にパターン形成される第2の導電層であって、前記シャッタは、前記空洞底部付近で、前記空洞を形成する垂直な側壁から該側壁に交差して延出するように、形成されている第2の導電層と、前記第2の導電層の下に位置されるスペーサー層と、該スペーサー層の下に位置される電気的に絶縁されている底層であって、該底層によって前記スペーサー層が前記第2の導電層と前記底層との間に間隙を形成する底層と、電気的に絶縁されている前記底層上に位置される第3の導電層と、選択的に発動されるバイアス電圧を前記側壁に供給する電気端子と、選択的に発動される第1のアドレス信号を前記シャッタ・アセンブリに供給するために該シャッタ・アセンブリに接続されている第1のアドレス信号線と、選択的に発動される第2のアドレス信号を前記第3の導電層に供給するために該第3の導電層に接続されている第2のアドレス信号線と、を含み、前記シャッタ・アセンブリは、2または4のシャッタ・セグメントを有する正方形、2または4のシャッタ・セグメントを有する長方形、および6のシャッタ・セグメントを有する六角形の少なくとも一つの構成を有し、前記シャッタ・セグメントは第1の安定位置から第2の安定位置に個別に移動するように制御される、超精密電気機械式シャッタ・アセンブリ。

IPC (1件)：

G09F 9/37 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G09F 9/37 Z

引用特許：

審査官引用 (9件)

空間光変調素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-206471 出願人：株式会社リコー
メカニカル光シャッタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-025807 出願人：株式会社リコー
特開昭58-010787

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