特許

J-GLOBAL ID：201103076971828790

セラミックヒータ、静電チャックおよびウエハプローバ

発明者： 平松 靖二 ,  伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (2件)： 安富 康男 ,  古谷 信也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-132122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354473
特許番号：特許第3565496号
出願日： 2000年05月01日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】円板形状のセラミック基板の内部または表面に、抵抗発熱体が形成されてなるセラミックヒータであって、前記セラミック基板に切り欠きが形成されてなり、この切り欠きに固定部材を挿通して前記セラミック基板を固定してなることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (6件)：

H01L 21/02 ,  C04B 35/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20

FI (8件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 B ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/20 377 ,  H05B 3/20 379 ,  H05B 3/20 393 ,  C04B 35/00 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体素子製造用セラミックヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-356928   出願人：京セラ株式会社
• ウエハ把持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263818   出願人：株式会社日立製作所