特許
J-GLOBAL ID：201103077175858942

高出力並列ファイバアレイ

発明者：
フェルマン、 マーティン イー.

フェルマン、 マーティン イー. について

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ハートル、 イングマー

ハートル、 イングマー について

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マーシンケヴィシウス、 アンドリウス

マーシンケヴィシウス、 アンドリウス について

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ドング、 リアング

ドング、 リアング について


出願人/特許権者：
イムラ アメリカ インコーポレイテッド

イムラ アメリカ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  原 裕子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-545965
公開番号（公開出願番号）：特表2011-512653
出願日： 2009年02月04日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
高ピーク出力パルスの増幅用の高出力並列ファイバアレイについて記載されている。個別のファイバ増幅器に基づくファイバアレイと、マルチコア・ファイバに基づくファイバアレイとを備える。ファイバアレイの個別のファイバ増幅器要素間の光位相が種々の位相検出及び補償技術を使用して測定され制御される。高出力ファイバアレイ増幅器は、EUV及びX線発生と、パラメトリック増幅器のポンピングとのため使用可能である。
請求項（抜粋）：
増幅出力の相対的位相変動が10kHz未満に制限されるように、ファイバ増幅器の熱変動が十分に整合して配置され、且つ、前記ファイバ増幅器の間の光エネルギーカップリングがすべて無視できるように、前記ファイバ増幅器が互いに離れて配置されたファイバ増幅器アレイと、 前記ファイバ増幅器アレイをシードし、フェムト秒〜約1マイクロ秒の範囲のパルス幅を有するパルスを生成するレーザ光源と、 前記レーザ光源と前記ファイバ増幅器アレイとの間に配置され、前記レーザ光源からのパルスが、前記レーザ光源の空間分布に実質的に類似した空間分布を有したビームとして、前記ファイバ増幅器アレイの対応する前記ファイバ増幅器にそれぞれ入射するように、前記レーザ光源からのパルスを複数のビーム経路に分配するビーム分配器と、 前記ファイバ増幅器アレイを光学的にポンピングする、少なくとも1個のポンプ光源と、 空間的関係に配置されて前記ファイバ増幅器に光接続され、位相制御信号に応答して少なくとも1個の前記ファイバ増幅器の出力の光位相を補正する、複数の位相制御素子と、 大部分の前記ファイバ増幅器の出力の光位相を制御するため前記制御信号を生成する位相制御ユニットと、 を含み、前記制御信号と前記位相制御素子とが、大部分の個別の前記ファイバ増幅器の光出力位相を安定化させることを特徴とする、高ピーク出力ファイバ増幅器システム。
IPC (5件)：
H01S 3/10 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/00 ,  G02B 26/06 ,  H01S 3/23
FI (5件)：
H01S3/10 Z ,  H01S3/06 B ,  H01S3/00 A ,  G02B26/06 ,  H01S3/23
Fターム (37件)：
2H141MA27 ,  2H141MB23 ,  2H141MB63 ,  2H141MC09 ,  2H141MD02 ,  2H141ME01 ,  2H141ME04 ,  2H141ME06 ,  2H141ME09 ,  2H141ME13 ,  2H141ME15 ,  2H141ME17 ,  2H141ME18 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141ME27 ,  2H141MF01 ,  2H141MF02 ,  2H141MF14 ,  2H141MF28 ,  2H141MG01 ,  2H141MZ16 ,  5F172AE12 ,  5F172AF06 ,  5F172AM04 ,  5F172AM08 ,  5F172CC04 ,  5F172DD04 ,  5F172DD06 ,  5F172NN14 ,  5F172NN16 ,  5F172NN17 ,  5F172NN21 ,  5F172NP02 ,  5F172NQ17 ,  5F172NQ25 ,  5F172ZZ14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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