ターボ分子ポンプ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邉勇 , 堀田信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177240
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059496
特許番号：特許第3812635号
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより翼排気部が構成されたターボ分子ポンプにおいて、前記ロータには、前記ポンプケーシングの吸気口側に位置して、前記ロータ及び/またはステータの破片が吸気口を抜けて飛散するのを防止する飛散防止部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (1件)：