特許
J-GLOBAL ID:201103077724481562

X線断層撮像装置及びそのステージ位置調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-067866
公開番号(公開出願番号):特開2000-266694
特許番号:特許第3638465号
出願日: 1999年03月15日
公開日(公表日): 2000年09月29日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被測定物に向けてX線を放射するX線源と、該X線の放射方向に対して傾斜した軸を中心に被測定物を回転させる被測定物回転手段と、この被測定物回転手段の回転軸の軸方向に直交するX線検出面を持つX線-光学像変換手段と、このX線-光学像変換手段で生成した光学像を映像信号となる電気信号に変換する光学像-電気信号変換手段とを有するX線断層撮像装置のステージ位置調整方法において、前記被測定物の位置調整時に、前記被測定物を載置するステージの回転角を角位置センサで検出し、該検出された回転角を基にして前記ステージを回転させて該ステージの駆動機構と接続し、X線透過像を見ながら所望の観察部分に前記ステージを位置決めし、前記被測定物の観察時には、前記ステージを前記駆動機構から切離し前記被測定物を回転させつつX線を放射し、前記被測定物の前記観察部分のX線断層像を撮像することを特徴とするX線断層撮像装置のステージ位置調整方法。
IPC (1件):
G01N 23/04
FI (1件):
G01N 23/04
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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