固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本典輝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-166962
公開番号（公開出願番号）：特開2011-021096
出願日： 2009年07月15日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】シリコンの加工性に優れる固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液を提供する。【解決手段】(A)グリコール類及び水を含有し、25°Cにおける粘度が3mPa・s以上50mPa・s以下である、固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)グリコール類及び水を含有し、25°Cにおける粘度が3mPa・s以上50mPa・s以下である、固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液。

IPC (3件)：

C10M 173/02 , B24B 27/06 , C10M 107/34

FI (3件)：

C10M173/02 , B24B27/06 D , C10M107/34

Fターム (8件)：

3C058AA05 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA03 , 4H104BB14C , 4H104CB14A , 4H104LA20 , 4H104PA22

引用特許：

審査官引用 (7件)

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