特許

J-GLOBAL ID：201103078070028878

インクジェットヘッドの製造方法

発明者： 阿部 修也 ,  西村 学 ,  佐藤 康弘 ,  大高 剛一 ,  滝本 幸也 ,  太田 英一 ,  入野田 貢
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (3件)： 高野 明近 ,  安田 啓之 ,  岩野 進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349738
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355103
特許番号：特許第4204158号
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】記録液を吐出するノズルに連通する液室の一部を構成する振動板と、振動板に対して非平行なギャップを介して個別電極が対向配置された電極基板を有し、前記振動板に取り付けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させ記録液を前記ノズル吐出口から吐出させ記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法において、振動板基板もしくは電極基板の少なくとも一方の基板において、ギャップの位置に対応して、前記基板上もしくは前記基板上に形成された絶縁層上に所定の形状のレジストを形成する工程と、前記レジストおよび前記基板もしくは基板上に形成された絶縁層を同時にエッチングすることにより前記レジスト形状を所定の比率で前記基板もしくは前記絶縁層に転写する工程を有し、前記レジストに露光/現像処理を行い、該露光/現像処理後に前記レジストの軟化温度以上の温度の熱処理を加えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ( 200 6.01) ,  B41J 2/055 ( 200 6.01) ,  B41J 2/16 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-130803   出願人：株式会社リコー
• レーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-126760   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平3-159748
  
• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-094426   出願人：ミノルタ株式会社