特許

J-GLOBAL ID：201103078348415908

検出センサ、物質検出方法

発明者： 三原 孝士 ,  酒井 亮介 ,  木村 睦 ,  布川 正史 ,  池原 毅
出願人/特許権者： オリンパス株式会社 ,  国立大学法人信州大学 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (2件)： 大場 充 ,  堀川 美夕紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-068536
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203008
出願日： 2010年03月24日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】簡易かつ低コストな構成で、物質の識別性能を高めることのできる検出センサ、物質検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】振動子30上に、対となる電極70A、70Bを設け、さらに電極70A、70Bを、感応膜20で覆うようにした。そして、感応膜20で吸着した成分分子による質量変化に伴う振動子30の周波数変化を検出するとともに、一対の電極70A、70B間の感応膜20の抵抗、導電率の変化を検出するようにした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

一端または両端が固定された梁状の振動子と、 前記振動子を振動させる駆動部と、 前記振動子の表面に、互いに離間した位置に配置された一対以上の電極と、 対となる前記電極を跨いで形成された感応膜と、 前記感応膜に吸着した物質によって前記振動子に生じた振動数の変化を検出する振動検出部と、 前記感応膜に吸着した物質によって前記電極間に生じた抵抗または導電率の変化を測定する電気特性検出部と、 を備えることを特徴とする検出センサ。

IPC (2件)：

G01N 5/02 ,  G01N 27/02

FI (2件)：

G01N5/02 A ,  G01N27/02 B

Fターム (4件)：

2G060AB16 ,  2G060AB21 ,  2G060AF08 ,  2G060AG03