特許
J-GLOBAL ID：201103078492605681
圧力センサー、センサーアレイ、及び圧力センサーの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-252512
公開番号（公開出願番号）：特開2011-099675
出願日： 2009年11月03日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：
【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、圧力センサーの製造方法を提供すること。【解決手段】圧力センサー6は、開口部61Aを有する支持体61と、支持体61上に設けられて、開口部61Aを閉塞するダイアフラム7を有する支持膜62、及びダイアフラム7上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体63を備えた圧力検出部9と、圧力検出部9上に、支持膜62の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部64Aを有するとともに、支持膜62を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部64Aの筒状内周壁641が開口部61Aと重なる位置、または開口部61Aよりも外側に形成される枠体64と、枠体64を閉塞する封止膜65と、空洞部64Aの筒状内周壁641、封止膜65、圧力検出部9により形成される内部空間66に充填されるシリコーンオイル20とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
開口部を有する支持体と、
前記支持体上に設けられて、前記開口部を閉塞するダイアフラムを有する支持膜、及び前記ダイアフラム上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体を備えた圧力検出部と、
前記圧力検出部上に、前記支持膜の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部を有するとともに、前記支持膜を膜厚み方向から見た平面視において、前記空洞部の筒状内周壁が前記開口部と重なる位置、または前記開口部よりも外側に形成される枠体と、
前記枠体を閉塞する封止膜と、
前記空洞部の筒状内周壁、前記封止膜、前記圧力検出部により形成される内部空間に充填される圧力媒体とを備える
ことを特徴とする圧力センサー。
IPC (4件)：
G01L 1/02
, G01L 5/00
, H04R 17/00
, H04R 31/00
G01L1/02
, G01L5/00 101Z
, H04R17/00 332Z
, H04R31/00 330
2F051AA10
, 2F051AB02
, 2F051BA05
, 5D019BB03
, 5D019FF06
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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