感光性組成物、感光性塗布物および微細パターン構造体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：小栗昌平 , 市川利光 , 高松猛 , 萩野平 , 深沢敏男 , 添田全一 , 本多弘徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292922
特許番号：特許第3883324号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも疎水性ポリマーと水溶性ポリマーと付加重合性化合物と光重合開始剤とを含む感光性組成物において、該疎水性ポリマーは少なくとも末端にCOOM基(Mは、水素原子、アルカリ金属原子、アルカリ土類金属原子又はアンモニオ基)を含むポリマーであり、該水溶性ポリマーはヒドロキシアルキルセルロースであり、かつ該疎水性ポリマーと該水溶性ポリマーとの含有比(疎水性ポリマー/水溶性ポリマー)が0.05〜4.0(重量比)であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：