特許
J-GLOBAL ID：201103079073728621
撮像データ補正方法、この方法を用いたビーム測定装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-287271
公開番号（公開出願番号）：特開2003-101775
特許番号：特許第4523744号
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1のステップ群として、結像素子を介して照射された一様光を1次元の撮像素子に撮像させるステップと、
前記一様光を撮像して得た前記撮像素子の出力データを参照して、入射瞳から前記結像素子を含む撮像面に垂直に降ろした軸における光量と、撮像面から入射瞳までの距離と、光軸から結像素子までの最短距離と、光軸の主走査方向の座標で示される3次元オフセット量と、からなる仮パラメータを参照して、関数データを生成するステップと、
前記仮パラメータを変化させて前記撮像素子の出力データと前記関数データとを近似させるステップと、
前記撮像素子の出力データに近似させた後の前記関数データから光量に関するデータを除去したデータの逆数を補正データとして獲得するステップと、
前記補正データに基づいて前記撮像素子の出力データを補正するステップと、を具備し、
第2のステップ群として、前記補正データに基づいて前記撮像素子の出力データを補正するステップで補正した後の前記撮像素子の出力データに含まれる光量の平均値を算出するステップと、
前記平均値を基準としてデータの上下限値を設定するステップと、
前記補正データに基づいて前記撮像素子の出力データを補正するステップで補正した後の前記撮像素子の出力データに含まれる光量値が前記上下限値を最も外れた値となる画素位置を補正対象画素位置として獲得するステップと、
前記補正データに基づいて前記撮像素子の出力データを補正するステップで補正した後の前記撮像素子の出力データに含まれる光量値のうち、前記補正対象画素位置の周辺複数画素における光量の平均値を算出し、前記補正対象画素の光量値をその平均値として扱うステップと、を具備し、
前記補正データに基づいて前記撮像素子の出力データを補正するステップで補正した後の前記撮像素子の出力データに含まれる全ての画素についての光量値が前記上下限値内に収まるまで前記第1のステップ群と第2のステップ群とを繰り返し実行する撮像データ補正方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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