特許

J-GLOBAL ID：201103079217570920

ボロメータ型赤外線検出器

発明者： 味沢 昭
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (3件)： 机 昌彦 ,  工藤 雅司 ,  谷澤 靖久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319125
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121255
特許番号：特許第3859479号
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 支持膜と、前記支持膜上に設けられたボロメータ薄膜と、前記ボロメータ薄膜上に設けられた保護膜とからなる熱電変換部が、基板から梁によって浮かせて支持されたダイアフラム構造を有するボロメータ型赤外線検出器において、 前記ボロメータ薄膜が短冊状に分割され、前記基板の面方向に並設された複数の素子で構成され、前記短冊状の複数の素子が、それぞれの短冊の長手方向の端部に設けた電極により直列に接続されていることを特徴とするボロメータ型赤外線検出器。

IPC (6件)：

G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  G01J 5/02 ( 200 6.01) ,  G01J 5/48 ( 200 6.01) ,  H01L 27/146 ( 200 6.01) ,  H01L 27/14 ( 200 6.01) ,  H01L 37/00 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 5/02 C ,  G01J 5/48 F ,  H01L 27/14 C ,  H01L 27/14 K ,  H01L 37/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ボロメーター型赤外線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154983   出願人：三菱電機株式会社
• 熱型赤外線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-080008   出願人：日本電気株式会社