ポリマ導波管に鏡を製造する方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 清水邦明 , 林鉐三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-534903
特許番号：特許第4475805号
出願日： 1999年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板(3)の表面層に形成されたポリマ光学導波管(1)に光発生又は光受信を行う光学電子素子(23)を接続する方法において、前記表面層の表面に金属層(11)を塗布する段階と、前記金属層(11)をパターニングして反射領域(15)の内縁(16、16’)を形成すると共に金属領域(13)を同時に形成する段階であって、該内縁は形成すべき前記反射領域の反射面の位置を定義し、前記金属領域は前記内縁に対して、従って前記反射領域に対して前記素子を正確に定義された位置に位置決めする前記素子の接続用金属パッドである、前記金属層をパターニングする段階と、前記表面層に窪み(19)を形成するよう前記内縁で囲まれた領域の表面に対してレーザ光(17)を斜め方向から照射して該表面層の材料を除去する段階と、を備え、該窪みは前記素子からの光を前記光学導波管に向けて反射し、または前記光学導波管の中を進行する光を前記素子に向けて反射するための斜めの反射面を形成する光反射側壁を有し、該光反射側壁は前記内縁から開始し前記光学導波管の中に延びる、前記方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 ( 200 6.01) , G02B 6/122 ( 200 6.01) , G02B 6/42 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G02B 6/12 M , G02B 6/12 B , G02B 6/42

引用特許：

審査官引用 (7件)

スリット付き光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165918 出願人：日立電線株式会社
特開昭62-248136
特開昭62-248136

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