異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001487
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194313
特許番号：特許第4358955号
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面に偏光フィルムが貼着された透明基板に対して、前記偏光フィルムの偏光面と平行な偏光面を有する光と、前記偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光とを偏光フィルム側から照射し、そのとき生ずるそれぞれの散乱光に基づく情報を比較することにより、前記透明基板と偏光フィルムとの間に存在する異物を検出できるようにしたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (1件)：