特許

J-GLOBAL ID：201103080152241230

塗布装置

発明者： 矢口 孝 ,  村田 正幸 ,  村上 慎一郎 ,  竹本 潤 ,  宮川 俊二 ,  中島 泰秀
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009257
公開番号（公開出願番号）：特開2000-202347
特許番号：特許第4334645号
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 塗布面を下方へ向けかつ傾斜状態に基板を位置させ、上方へ向かって開口し水平方向に延びるスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給して、基板の塗布面と塗布ヘッドとの間隙に、スリットから吐出される塗布液によって液溜まりを形成しつつ、塗布ヘッドを基板の傾斜方向と平行に、傾斜した基板の最も高い端縁から最も低い端縁の方向へ移動することにより、液溜まりの塗布液を基板の塗布面に付着させて、塗布膜を形成する塗布装置において、 塗布処理位置において塗布面を下方へ向けかつ傾斜状態に基板を保持する基板保持部材と、塗布処理位置と基板着脱位置との間で基板保持部材を反転回動する回動手段と、塗布処理位置における基板保持部材の下方に設けられ、上方へ向かって開口し水平方向に延びるスリットを有する塗布ヘッドと、塗布ヘッドに塗布液を供給し、スリットから塗布液を吐出する塗布液供給手段と、塗布ヘッドを基板の傾斜方向と平行な方向へ相対的に移動させる移動手段とを基板の塗布面と塗布ヘッドとが塗布処理時に一定の間隙を維持するように、基板保持部材と塗布ヘッドとを対向して保持する塗布部躯体に設け、 この塗布部躯体を円軌道に沿って回動自在に支持する架台と連結し、架台に対する塗布部躯体の回動角度を調節することによって、塗布処理される基板の傾斜角度を可変する塗布部傾斜角調節手段と、 塗布部躯体または架台の一方に固着された一対の円弧状案内部材と、他方に固着され、前記一対の円弧状案内部材の円軌道に沿って摺動する複数の摺動部材とで構成され、架台上にて塗布部躯体を回動自在に支持する躯体回動手段と、 を備えたことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 ( 200 6.01) ,  B05C 13/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B05C 5/02 ,  B05C 13/02 ,  H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板保持部材および塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-019575   出願人：大日本印刷株式会社
• 塗工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096124   出願人：株式会社横山製作所