特許
J-GLOBAL ID：201103080326418290
吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229569
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045950
特許番号：特許第4676097号
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 誘電体からなる支持体と、前記支持体に配置された第1、第2の電極とを有するチャック本体を備え、該チャック本体上に絶縁性の基板を載置した状態で、前記第1、第2の電極間に電圧を印加すると、不均一な電場E中に分極率αの誘電体を置いたときに、その誘電体に働く、単位面積当たり次式で表されるグラディエント力f、
f = 1/2・α・grad(E2)
の吸着力が生じ、該吸着力で前記基板が前記チャック本体に吸着されるように構成された吸着装置であって、
前記第1、第2の電極は、前記チャック本体上に載置された基板側に向かって尖った上端部を有する吸着力発生部を複数有し、
前記吸着装置は、前記基板を前記チャック本体上に載置した場合に、表面が前記基板に接するように構成された保護膜を有し、
各前記上端部と前記保護膜の表面はそれぞれ等距離にされ、
前記第1、第2の電極間に電圧を印加すると、尖った前記上端部で電界集中が生じるように構成された吸着装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H02N 13/00 ( 200 6.01)
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
