特許
J-GLOBAL ID:201103080573924913
炭素ナノ繊維を得るためのプラズマ触媒反応
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 今井 庄亮
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 富田 博行
, 桜井 周矩
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-548535
特許番号:特許第4514334号
出願日: 1999年05月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 反応器中で炭素ナノ繊維を製造する方法であって、
固体触媒粒子の形の第1の触媒を反応器中に準備する工程、
反応器に真空を適用して、反応器中に減圧状態を作り出す工程、
メタンを含有する炭素基剤ガスを含むガスの第1の混合物を反応器に送入する工程、
反応器を反応温度まで加熱し且つプラズマを発生させるために、反応器にマイクロ波エネルギー源を提供する工程、
前記炭素基剤ガスから、炭素遊離基種を含むプラズマを形成する工程、
触媒粒子の存在下で、炭素遊離基種を炭素ナノ繊維に形成する工程、及び
必要に応じて反応器に、第2の触媒として成長触媒ガスを送入して炭素繊維の大きさを直径方向に増大させる工程
を含み、
前記炭素ナノ繊維を形成する工程において、前記触媒粒子が、繊維を凝集させるように働き又繊維形成を開始させること、及び、
前記第1の触媒が、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、フェロセン、ペンタカルボニル鉄、硫黄、硫化水素、硫化鉄、及び、硝酸ニッケルからなる群から選択されること
を特徴とする方法。
IPC (2件):
D01F 9/127 ( 200 6.01)
, C01B 31/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
D01F 9/127
, C01B 31/02 101 F
引用特許:
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (12件)
-
カーボン単層ナノチューブの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-003636
出願人:日本電気株式会社
-
炭素繊維とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-112964
出願人:日本電気株式会社
-
特開昭63-282313
-
特開昭63-282313
-
特開平3-014623
-
特開平3-014623
-
特開昭62-006918
-
特開昭62-006918
-
特開昭61-282426
-
特開昭61-266618
-
カーボンシングルチューブの精製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-254426
出願人:日本電気株式会社
-
カーボンナノチューブの製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-008461
出願人:キヤノン株式会社
全件表示
前のページに戻る