特許

J-GLOBAL ID：201103081073881033

ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： 石地 洋平 ,  藤田 明徳
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 野口 恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-054577
公開番号（公開出願番号）：特開2011-170305
出願日： 2010年03月11日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】ITOスパッタ適性、硬度、耐熱透明性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法を提供すること。【解決手段】(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、(成分B)下記式(1)で表される酸発生剤、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 R1〜R5はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、アシル基、ハロゲン原子、アリール基、又は、ヘテロアリール基を表し、隣接するR1〜R5が互いに連結して環を形成してもよく、X-は共役塩基を表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、 (成分B)下記式(1)で表される酸発生剤、を含有することを特徴とする ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  G02F 1/136 ,  C08F 220/28

FI (8件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/004 503A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  G02F1/1368 ,  C08F220/28

Fターム (92件)：

2H092GA17 ,  2H092GA29 ,  2H092HA04 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092JB58 ,  2H092KB22 ,  2H092MA05 ,  2H092MA10 ,  2H092MA16 ,  2H092NA27 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE18P ,  2H125AF17P ,  2H125AF27P ,  2H125AF33P ,  2H125AF57P ,  2H125AF61P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ85Y ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AN23P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN41P ,  2H125AN49P ,  2H125AN55P ,  2H125AN65P ,  2H125AN74P ,  2H125AN82P ,  2H125AN89P ,  2H125AN93P ,  2H125BA05P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA24 ,  2H125CB04 ,  2H125CB05 ,  2H125CB10 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC21 ,  3K107CC22 ,  3K107CC24 ,  3K107CC45 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107GG06 ,  3K107GG28 ,  4J100AB02R ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09S ,  4J100AL10Q ,  4J100AM47S ,  4J100BA02P ,  4J100BA06P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04S ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA61 ,  4J100JA37 ,  4J100JA43

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-144696   出願人：富士フイルム株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-082006   出願人：富士フイルム株式会社
• 感活性エネルギー線樹脂組成物、感活性エネルギー線樹脂フィルム及び該フィルムを用いるパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-196577   出願人：市村國宏, 株式会社ムラカミ
• 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-055176   出願人：JSR株式会社