特許

J-GLOBAL ID：201103081671709059

走査型電子線装置

発明者： 米澤 彬 ,  野口 明芳 ,  高岡 修 ,  佐藤 光義
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118465
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311646
特許番号：特許第3195589号
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料及び試料に対向した電極に負電位を印加するようにした走査型電子線装置に於いて、該電極をこれに隣接する対物レンズ磁極側面に電気的絶縁材を介して固定する様にし、該電極の試料に近い部分は軸対称形状であり、該電極の試料に遠く、かつ試料傾斜時に試料と空間的に干渉する部分は切り欠かれた形状であることを特長とする走査型電子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/141

FI (2件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/141 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-005731   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 電子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-176237   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社