特許
J-GLOBAL ID：201103081708992554
イオンビーム用イオン化チャンバーおよびイオンビーム強度をモニターする方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
庄司 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-600290
特許番号：特許第4435426号
出願日： 2000年02月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバーハウジング(2)、ビーム入口ウィンドゥ(3)、計数ガスを充填したチャンバー容積(5)、高電圧陽極(6)および高電圧陰極(7)を有するイオンビーム(1)用イオン化チャンバーであって、
該イオン化チャンバー(8)はイオンビーム軸に対して直交して整列された上記(2)、(3)、(5)、(6)および(7)で表される要素を含む平らな大表面積構造からサンドイッチ状に組立てられ、その際、平らな計数陽極(9)に直交して整列され、中心に配置された大表面積は、その両側が2つの平行陰極表面(10)からなる平らな大表面積高電圧陰極(7)で囲まれ、かつ、チャンバーハウジング(2)は実質的に四角なイオン化チャンバー容積(12)を構成するハウジングフレーム(11)からなるイオン化チャンバーにおいて、
ビーム入口ウィンドゥ(3)およびビーム出口ウィンドゥ(4)はイオンビーム(1)と直交して整列され、ハウジングフレーム(11)上にガス不透過性でかつ電気導電性にて装備され、該ビーム入口ウィンドゥ(3)およびビーム出口ウィンドゥ(4)はイオン化チャンバー容積(12)に面する側が金属被覆され、かつ、該計数陽極(9)および高電圧陰極(7)は金属被覆プラスチック繊維からなるメッシュからなり、かつ、該計数陽極(9)と高電圧陰極(7)間の空間である電気的絶縁空間要素(21)を使用する電気的絶縁方法にて、ハウジングフレーム(11)に支持されるフレーム(20)中に装備されていることを特徴とするイオン化チャンバー。
IPC (3件)：
H01J 47/02 ( 200 6.01)
, A61N 5/10 ( 200 6.01)
, G01T 1/18 ( 200 6.01)
H01J 47/02
, A61N 5/10 Q
, G01T 1/18 A
