アルキルビニールエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012171
公開番号（公開出願番号）：特開2001-200016
特許番号：特許第3805988号
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記式で表わされるアルキルビニールエーテルと無水マレイン酸との共重合体を含むレジスト材料。 (式中、Xはおのおの下記の構造から選ばれたいずれか一つの構造を有する、線形または環状のアルキルビニールエーテルである。) (式中、yは1〜4であり、R1は水素原子またはメチル基であり、R2はC1〜C20の炭化水素基であり、R2はヒドロキシル基を含むことができ、R3は水素原子、C1〜C3のアルキル基またはアルコキシ基である。)

IPC (12件)：

C08F 216/14 ( 200 6.01) , C08F 220/18 ( 200 6.01) , C08F 222/06 ( 200 6.01) , C08F 232/04 ( 200 6.01) , C08K 5/00 ( 200 6.01) , C08K 5/16 ( 200 6.01) , C08L 29/10 ( 200 6.01) , C08L 33/06 ( 200 6.01) , C08L 35/08 ( 200 6.01) , C08L 45/00 ( 200 6.01) , G03F 7/039 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (12件)：

C08F 216/14 , C08F 220/18 , C08F 222/06 , C08F 232/04 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08L 29/10 , C08L 33/06 , C08L 35/08 , C08L 45/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

塗被紙用顔料分散剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-036928 出願人：電気化学工業株式会社
感光性樹脂組成物及び感光性転写シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011907 出願人：富士写真フイルム株式会社
化学増幅型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-279070 出願人：三星電子株式会社

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審査官引用 (4件)

塗被紙用顔料分散剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-036928 出願人：電気化学工業株式会社
感光性樹脂組成物及び感光性転写シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011907 出願人：富士写真フイルム株式会社
化学増幅型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-279070 出願人：三星電子株式会社

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引用文献：

出願人引用 (2件)

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