特許
J-GLOBAL ID：201103081828137488
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252001
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077174
特許番号：特許第3719354号
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 同軸上で各々回動可能に設けられた第1及び第2の上腕と、 同軸上に配置されていて、モータの出力軸と直結され、前記第1及び第2の上腕をそれぞれ駆動する第1及び第2の駆動軸と、 前記第1の上腕の先端部に基端部が回動可能に取り付けられた第1の前腕と、 前記第2の上腕の先端部に基端部が回動可能に取り付けられた第2の前腕と、 搬送物把持部と、 前記第1及び第2の前腕の先端部が連結されると共に、前記搬送物把持部が取り付けられ、前腕連結部品がリンクとして機能することにより、前記第1及び第2の前腕がとる任意の位置に対して、前記搬送物把持部の位置を拘束する前腕連結部と、 前記第1の駆動軸の動力を前記第2の前腕に伝える第1の伝達手段と、 前記第2の駆動軸の動力を前記第1の前腕に伝える第2の伝達手段と、を具備し、前記第1及び第2の伝達手段は1:1の伝達比で動力を伝達し、第1の駆動軸の駆動により第1の上腕が回動すると、これと連動して、第1の上腕の回動角度と等しい回動角度だけ第2の前腕が同方向に第1の前腕が逆方向にそれぞれ回動し、第2の駆動軸の駆動により第2の上腕が回動すると、これと連動して、第2の上腕の回動角度と等しい回動角度だけ第1の前腕が同方向に第2の前腕が逆方向にそれぞれ回動し、第1の上腕と第2の前腕及び第2の上腕と第1の前腕をそれぞれ平行に保ったこれらの腕の回動により前記搬送物把持部を移動することを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B25J 17/00
H01L 21/68 A
, B25J 9/06 D
, B25J 17/00 G
