特許
J-GLOBAL ID：201103081878159849
III族窒化物結晶成長装置およびIII族窒化物結晶成長方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147703
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338397
特許番号：特許第4551026号
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物結晶成長装置であって、1つの反応容器内に、複数の混合融液保持容器を設け、該混合融液保持容器の温度を独立に制御可能な複数の異なる温度制御領域を有していることを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。
IPC (5件)：
C30B 29/38 ( 200 6.01)
, C30B 9/10 ( 200 6.01)
, C30B 19/02 ( 200 6.01)
, C01B 21/06 ( 200 6.01)
, H01S 5/323 ( 200 6.01)
C30B 29/38 D
, C30B 9/10
, C30B 19/02
, C01B 21/06 M
, H01S 5/323 610
