特許
J-GLOBAL ID：201103081905585014
画像自動収集装置およびその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295017
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200813
特許番号：特許第3715150号
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 投入される各被対象基板上に存在する多数個の欠陥の各々を第2の座標系で撮像視野内に位置付けし、該撮像視野内に位置付けした各欠陥を、各欠陥寸法の大きさに応じて設定された撮像倍率で撮像して各欠陥の電子線画像信号を取得し、該取得された各欠陥の電子線画像信号を画像記憶部に記憶する走査型電子線顕微鏡であって、 該走査型電子顕微鏡に投入される各被対象基板上に存在する多数個の欠陥についての寸法および第1の座標系における位置座標に関する情報を外観検査装置から取得して記憶する記憶部と、 前記記憶部に記憶された外観検査装置から取得される前記各被対象基板上に存在する多数個の欠陥についての寸法および第1の座標系における位置座標に関する情報を基に、前記多数個の欠陥についての第1の座標系における位置座標情報を、前記欠陥ごとにその寸法に応じて大きい順に並べ替え、該並び替えた多数個の欠陥において所望の寸法を満たす寸法の大きな欠陥から順次、アライメント個数に亘る各欠陥の第1の座標系における位置座標を選び出し、該選び出されたアライメント個数に亘る各欠陥の第1の座標系における位置座標に基づいて各欠陥を前記寸法に対応する低撮像倍率の視野内に順次位置付けし、該順次位置付けされた各欠陥を前記低撮像倍率で撮像してその各欠陥の電子線画像信号を前記画像記憶部に記憶し、該順次記憶された各欠陥の電子線画像信号を基にその各欠陥の第2の座標系における位置座標を順次算出し、前記アライメント個数に亘る各欠陥についての前記順次算出された第2の座標系における位置座標と前記第1の座標系における位置座標との関係から、第2の座標系におけるアライメントされた欠陥の位置座標を算出するための第1の座標系における欠陥の位置座標に対する座標変換式のずれ補正係数を算出するずれ補正係数算出手段と、 前記アライメント用に使用した以外の各欠陥についての前記第1の座標系における位置座標を、前記ずれ補正係数算出手段で算出されたずれ補正係数を用いて座標変換式によりずれ補正して第2の座標系におけるアライメントされた位置座標を順次算出し、該順次算出された各欠陥についてのアライメントされた第2の座標系における位置座標を基づいて各欠陥の寸法に対応する電子線画像を取得する高撮像倍率の視野内に位置付けし、該順次位置付けされた各欠陥を前記高撮像倍率で撮像して各欠陥の電子線画像信号を収集して前記画像記憶部に記憶する画像収集手段とを備えたことを特徴とする画像自動収集装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 23/225
, H01J 37/22
H01L 21/66 J
, G01N 23/225
, H01J 37/22 502 H
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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