回転カップ及び塗布装置及び塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221376
公開番号（公開出願番号）：特開2000-157915
特許番号：特許第3698398号
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スピンチャックの外周縁と隣接する開口部を備えた穴空き円盤状の底面部と、前記底面部の外周縁から回転軸方向に延設された側面部と、前記底面部から所定の高さの突出部を有し、前記スピンチャックに保持された被処理基板の外周縁部に対向する前記底面部の位置に配設された支持ピンとを具備し、前記支持ピンの配置は前記被処理基板の4角部分の支持ピンが最も被処理基板の周縁部から遠い位置に配置されることを特徴とする回転カップ。

IPC (4件)：