特許
J-GLOBAL ID：201103082930396540

ウエハ状の物品を液体処理するための装置及び方法

発明者：
クルト・ランゲン

クルト・ランゲン について


出願人/特許権者：
ラム・リサーチ・アクチエンゲゼルシヤフト

ラム・リサーチ・アクチエンゲゼルシヤフト について


代理人 (1件)： 特許業務法人小田島特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118470
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343054
特許番号：特許第4346207号
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハ状の物品を支持するための支持手段と、前記ウエハ状の物品の、前記支持手段に向いた面を少なくとも部分的にガスで洗浄するためのガス供給手段とを具備する、ウエハ状の物品の前記支持手段に向いた面の縁部付近を液体処理するための装置において、洗浄ガスの大部分を前記ウエハ状の物品の縁部領域で前記ウエハ状の物品から離れるように排出するガス排出装置が周囲に設けられており、前記支持手段のうちの前記ガス供給手段と前記ガス排出装置との間にある部分は前記ガス排出装置が前記ウエハ状の物品から間隔をあけているよりも前記ウエハ状の物品から大きな間隔をあけており、前記ガス排出装置は前記ウエハ状の物品に接触しておらず、前記ガス排出装置の前記ウエハ状の物品に向いた面は前記ウエハ状の物品の主面に対して平行である、ことを特徴とする装置。
IPC (6件)：
B08B 5/00 ( 200 6.01) ,  B08B 3/02 ( 200 6.01) ,  B08B 3/04 ( 200 6.01) ,  B08B 7/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H01L 21/306 ( 200 6.01)
FI (6件)：
B08B 5/00 A ,  B08B 3/02 B ,  B08B 3/04 A ,  B08B 7/04 Z ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/306 S
引用特許：
審査官引用 (3件)

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