エアロゾル洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 牧野剛博 , 松山圭佑
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072121
公開番号（公開出願番号）：特開2000-262998
特許番号：特許第3844616号
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】装置外部から、被洗浄物が多数収容されたカセットを搬入出するための、真空状態に排気されるカセット室と、洗浄前の被洗浄物を、前記カセットから引き出して、次のバッファ室に搬入すると共に、洗浄後の被洗浄物をバッファ室から引き出して、所定のカセットに挿入するための、被洗浄物ハンドリング用の真空ロボットが配設されたロボット室と、該ロボット室と次の洗浄室間の圧力差を解消して、被洗浄物の受け渡しをするためのバッファ室と、該バッファ室から搬入される被洗浄物の表面に、エアロゾルを衝突させて洗浄するための、所定圧力に維持される洗浄室を備えたエアロゾル洗浄装置において、エアロゾル生成中は、前記バッファ室と洗浄室を区切るゲートバルブを開いたままとし、バッファ室から洗浄室へ、待機中は待機用の、洗浄中は洗浄用の流量のパージガスを強制的に流すようにすると共に、前記ロボット室とバッファ室間に、途中に均圧バルブが配設された均圧用バイパス配管を設けたことを特徴とするエアロゾル洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 7/00 ( 200 6.01) , B08B 7/04 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B08B 7/00 , B08B 7/04 Z , H01L 21/304 645 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

減圧低温処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-195227 出願人：住友重機械工業株式会社
特開昭60-050924
特開昭61-271836

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審査官引用 (4件)

減圧低温処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-195227 出願人：住友重機械工業株式会社
特開昭60-050924
特開昭61-271836

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