特許

J-GLOBAL ID：201103083752466641

空調設備

発明者： 服部 佳則 ,  野上 和文
出願人/特許権者： ダイキンプラント株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061428
特許番号：特許第3073978号
出願日： 1999年03月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 外気に対して、恒温恒湿とする調整がされた第1の性状を有する空気を供給する第1の空気調整装置(1)と、外気を調整して、高清浄恒温恒湿の空気とは別の性状の、排気においてエネルギ消費が少ない、第2の性状を有する空気を供給する第2の空気調整装置 (2)と、前記第1の性状の空気が供給されるクリーンルーム (20)と、前記クリーンルーム内に設けられ、クリーンルーム内の空気が流入する第1プロセス室 (3)と、前記クリーンルーム内に設けられた前記第2の性状の空気が供給される第2プロセス室 (4)と、前記第2プロセス室で発生する気体状物質と前記第2プロセス室に供給された第2の性状の空気とを排気する排気設備 (6、36)とを備える空調設備。

IPC (3件)：

F24F 3/052 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

F24F 3/052 ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• クリーンルーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-040984   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平1-276713
  
• 研磨装置と半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-021550   出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社