特許

J-GLOBAL ID：201103084682460680

アミノ酸薄膜の製造方法および化学センサプローブ

発明者： 杉本 岩雄 ,  瀬山 倫子 ,  中村 雅之
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 高山 道夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113329
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304673
特許番号：特許第3536970号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 真空乾燥させたアミノ酸の微細粉体を、ヒータと水冷ジャケットにより構成される分子線セルを用いて真空中で加熱し、昇華させて任意の基板上に堆積させることを特徴とするアミノ酸薄膜の製造方法。

IPC (3件)：

G01N 5/02 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24

FI (3件)：

G01N 5/02 A ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 有機薄膜およびそれを用いた化学センサプローブの作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-078906   出願人：日本電信電話株式会社
• アミノ酸薄膜の形成方法及び薄膜を用いた化学センサプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-144425   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭61-066160
  
• 特開昭63-243835
  

審査官引用 (1件)

• アミノ酸薄膜の形成方法及び薄膜を用いた化学センサプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-144425   出願人：日本電信電話株式会社