薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッド用基板、および薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥田誠司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260009
特許番号：特許第3357313号
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルミナチタンカーバイト基板と、前記アルミナチタンカーバイト基板の表面上に形成された酸化アルミニウム層とを有する薄膜磁気ヘッド用基板であって、前記アルミナチタンカーバイト基板は、前記酸化アルミニウム層側に表面改質層を有し、前記表面改質層はチタン酸アルミニウムを含む、薄膜磁気ヘッド用基板。

IPC (1件)：