測定装置、測定制御ユニット、測定方法、プログラム及び記憶媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216876
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028623
特許番号：特許第4462786号
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】変位計を搭載した変位計駆動部と、前記変位計の出力が一定となるように被測定面の表面形状に追従させる前記変位計駆動部を制御する追従機構部と、前記変位計駆動部を前記被測定面の面内方向に走査させる走査駆動部と、前記被測定面の表面形状に追従させたときの前記変位計駆動部の軌跡を測定する測長部とを備え、前記測長部により測定された前記軌跡を前記被測定面の表面形状とする形状の測定装置であって、当該測定装置全体をアプリケーションソフトにより統括制御する統括制御用演算部と、この統括制御用演算部とは別個に設けられて前記測長部により測定された測長データを前記測長部との間の通信により取得し、前記測長部から測長データを取得するサンプリング周期を前記データ通信部の前記通信領域を介して設定する周期設定手段と、前記統括制御用演算部がこのデータ取得用演算部より1回で取り込む測長データの取得個数又は取得組数を前記データ通信部の前記通信領域を介して設定する取り込み条件設定手段と、を備えるデータ取得用演算部と、前記統括制御用演算部と前記データ取得用演算部との間で相互通信を行う通信領域と測長データを格納する測長データ領域とを有するデータ通信部と、を備える測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ( 200 6.01) , G01B 5/008 ( 200 6.01) , G08C 19/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01B 21/20 101 , G01B 5/008 , G08C 19/00 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301077 出願人：株式会社リコー
ペンレコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-347702 出願人：東亜電波工業株式会社
材料試験機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-081988 出願人：日本たばこ産業株式会社

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審査官引用 (7件)

形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-301077 出願人：株式会社リコー
ペンレコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-347702 出願人：東亜電波工業株式会社
材料試験機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-081988 出願人：日本たばこ産業株式会社

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