微細表面形状測定装置及び触針製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271345
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】測定対象物が導電体/非導電体のいかんに関わらず計測でき、表面の汚染やゴミに強く、触針摩耗による計測誤差が少ない機械部品の微小穴や微細溝の内面計測等に好適に用いられる微細表面形状測定装置を実現する。【解決手段】本発明は、梁構造の触針1と、触針1をその共振周波数付近で振動させる振動手段3等と、触針1の歪みを検出する歪み検出手段2等と、検出される歪みの状態が一定になるように触針をその振動方向に位置決めする位置決め手段48等と、触針1と測定対称面46とを相対的に位置決めする移動手段42等とを有し、測定対象面の形状を測定する微細表面形状測定装置である。

請求項（抜粋）：

梁構造を有する触針と、前記触針をその共振周波数付近で振動させる振動手段と、前記触針の歪みを検出する歪み検出手段と、検出される歪みの状態が一定になるように前記触針をその振動方向に位置決めする位置決め手段と、前記触針と測定対称面とを相対的に位置決めする移動手段とを備え、前記測定対象面の形状を測定する微細表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 7/28 , G01B 21/20 101

FI (3件)：

G01N 37/00 F , G01B 7/28 C , G01B 21/20 101 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

表面形状測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-089237 出願人：新技術事業団
超低力原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-084343 出願人：デジタルインストゥルメンツインコーポレイテッド
特開平2-075902

全件表示

前のページに戻る