特許

J-GLOBAL ID：201103086230987918

光学式エンコーダおよび変位計測装置

発明者： 石塚 公
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-052575
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185806
出願日： 2010年03月10日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】低コストで高分解能な光学式エンコーダを提供する。【解決手段】本発明の光学式エンコーダは、発光素子と、前記発光素子からの発散光束を透過または反射させて空間的かつ周期的に複数の光束に分割するスケール格子と、複数の受光素子を備え、前記スケール格子からの前記複数の光束を対応する受光素子に入射するように構成された受光素子アレイと、前記スケール格子と前記受光素子アレイとの間に配置され、該スケール格子の前記発光素子に対する相対移動に従って、該受光素子アレイに入射する前記複数の光束が互いに位相差を有して周期的に変調するように構成された光マスク格子とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

発光素子と、 前記発光素子からの発散光束を透過または反射させて空間的かつ周期的に複数の光束に分割するスケール格子と、 複数の受光素子を備え、前記スケール格子からの前記複数の光束を対応する受光素子に入射するように構成された受光素子アレイと、 前記スケール格子と前記受光素子アレイとの間に配置され、該スケール格子の前記発光素子に対する相対移動に従って、該受光素子アレイに入射する前記複数の光束が互いに位相差を有して周期的に変調するように構成された光マスク格子と、を有することを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (1件)：

G01D 5/30

FI (2件)：

G01D5/30 F ,  G01D5/30 R

Fターム (17件)：

2F103BA37 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103DA12 ,  2F103DA13 ,  2F103EA01 ,  2F103EA15 ,  2F103EA23 ,  2F103EA24 ,  2F103EB04 ,  2F103EB06 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EB32 ,  2F103EB36 ,  2F103EB37 ,  2F103FA16

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-050722
  
• 光電式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153911   出願人：株式会社ミツトヨ
• 光学式エンコーダ及びその製造方法並びに光学レンズモジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-202530   出願人：オリンパス株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-050722
  
• 光電式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153911   出願人：株式会社ミツトヨ