特許
J-GLOBAL ID:200903091676805169
光学式エンコーダ及びその製造方法並びに光学レンズモジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-202530
公開番号(公開出願番号):特開2005-043192
出願日: 2003年07月28日
公開日(公表日): 2005年02月17日
要約:
【課題】光ビームの強度を安定化することができ、かつ、センサの小型化を可能にした光学式エンコーダを提供する。【解決手段】光源1と、光源1に対して相対的に移動し周期的な光学パターンを有するスケール2と、光源1から出射され、スケール2によって反射および変調された光ビームの強度パターンの変化を検出可能な光検出器3とを有する光学式エンコーダであって、半導体基板5上に光検出器3と凹部110が形成されており、光源1は半導体基板5上の凹部110に配置され、さらに、凹部110上にスリット100が配置されており、光源1から出射された光ビームはスリット100を通過した後にスケール2を照射する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と、前記光源に対して相対的に移動し周期的な光学パターンを有するスケールと、前記光源から出射され、前記スケールによって反射および変調された光ビームの強度パターンの変化を検出可能な光検出器とを有する光学式エンコーダであって、
半導体基板上に前記光検出器と凹部が形成されており、前記光源は前記半導体基板上の凹部に配置され、さらに、前記凹部上にスリットが配置されており、前記光源から出射された光ビームは前記スリットを通過した後に前記スケールを照射することを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (2件):
FI (4件):
G01D5/30 R
, G01D5/30 F
, G01D5/30 T
, H01L31/12 E
Fターム (21件):
2F103CA01
, 2F103CA03
, 2F103EA01
, 2F103EB01
, 2F103EB16
, 2F103EB27
, 2F103EB32
, 2F103EB36
, 2F103EB37
, 2F103EC17
, 2F103GA02
, 2F103GA14
, 5F089BA01
, 5F089BA02
, 5F089BB02
, 5F089BC05
, 5F089BC06
, 5F089BC22
, 5F089BC30
, 5F089CA20
, 5F089GA10
引用特許:
出願人引用 (5件)
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光学式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-324461
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
走査ヘッドおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-343658
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
-
集積されたオプトロニック薄膜センサ及びその製造方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-612707
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
-
光学式検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-182047
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
光電測長または測角装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-145025
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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審査官引用 (5件)
-
光学式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-324461
出願人:オリンパス光学工業株式会社
-
走査ヘッドおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-343658
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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集積されたオプトロニック薄膜センサ及びその製造方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-612707
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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光学式検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-182047
出願人:オリンパス光学工業株式会社
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光電測長または測角装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-145025
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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