特許

J-GLOBAL ID：201103086384450976

形状測定方法および形状測定装置

発明者： 半田 宏治 ,  吉住 恵一 ,  久保 圭司 ,  竹内 博之
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-193628
公開番号（公開出願番号）：特開2002-013926
特許番号：特許第4493168号
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被測定物の表面をプローブでなぞって前記被測定物の表面形状を測定するに先立って、予め入力されている前記被測定物の設計半径と前記プローブによる形状測定によって求まる形状データとを比較して、前記プローブを前記被測定物の中心位置に追い込むように制御ルーチンを実行する際に、 中心出し測定の測定範囲が、設計半径と測定機の測定精度とプローブ追い込み精度とにより規定される値以上の場合、 前記プローブの中心位置ずれ量が前記設計半径の大きさに応じて決まる第一の規定値以下になるまで前記制御ルーチンを繰り返し実行し、 中心出し測定の測定範囲が、設計半径と測定機の測定精度とプローブ追い込み精度とにより規定される値より小さい場合、 設計半径と測定機の測定精度と中心出し測定に使用できる範囲とゴミ、ホコリ等の影響などの外的条件により決まる定数とから第二の規定値を決定し、 前記第一の規定値が前記第二の規定値より大きい場合には、 前記プローブの中心位置ずれ量が第一の規定値以下になるまで前記制御ルーチンを繰り返し実行し、 前記第一の規定値が前記第二の規定値以下の場合には、前記プローブの中心位置ずれ量が第二の規定値以下になるまで前記制御ルーチンを繰り返し実行し、 前記被測定物の中心位置に追い込まれた前記プローブの位置を測定原点として前記プローブで前記被測定物をなぞって表面形状を測定する 形状測定方法。

IPC (1件)：

G01B 21/20 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01B 21/20 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-254306
  
• 特開平2-254306
  
• レンズ面形状の測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-235981   出願人：株式会社リコー
• 数値制御装置およびその測定原点出し方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-275606   出願人：株式会社ニコン